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牛津儀器版離子束蝕刻白皮書(shū)面世

2011年12月20日 08:51:22 來(lái)源:儀表網(wǎng)

  導(dǎo)讀:作為世界的離子束技術(shù)和系統(tǒng)制造商,牛津儀器等離子部的應(yīng)用和技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)定期發(fā)布技術(shù)白皮書(shū),現(xiàn)在版的離子束蝕刻白皮書(shū)已經(jīng)面世。
  
  本期白皮書(shū)由公司的離子束應(yīng)用技術(shù)專家SebastienPochon博士和DavePearson博士執(zhí)筆,全面介紹了離子束蝕刻技術(shù)并闡述了其在蝕刻工藝中的主要應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)(例如與等離子蝕刻對(duì)比)。白皮書(shū)首先綜述了離子束zui初是如何產(chǎn)生的,而后又介紹并討論了離子束技術(shù)的工藝應(yīng)用。
    
  牛津儀器等離子技術(shù)部應(yīng)用團(tuán)隊(duì)RobertGunn這樣評(píng)價(jià)道:“我們的應(yīng)用工程師團(tuán)隊(duì)和技術(shù)人員不斷地在他們專業(yè)領(lǐng)域探索研究,以求為客戶提供的離子束和等離子系統(tǒng);提供更多像這本白皮書(shū)一樣的技術(shù)資料,此外我們還擁有數(shù)量超過(guò)6000份的工藝資料庫(kù)”
  
  作為世界的離子束技術(shù)和系統(tǒng)制造商,我們提供的離子束工具包括Ionfab300Plus,該設(shè)備有充分的靈活性進(jìn)行刻蝕和/或沉積,并實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)利用率zui大化;Ionfab500Plus專為高品質(zhì)光學(xué)薄膜設(shè)計(jì);Optofab3000特別為高品質(zhì)光學(xué)應(yīng)用而開(kāi)發(fā)。
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