濺射式的壓力敏感元件是在10級(jí)超凈間內(nèi)，通過微電子工藝制造出來的。即在高真空度中，利用磁控技術(shù)，將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上，形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜，并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再經(jīng)過光刻、調(diào)阻，溫度補(bǔ)償?shù)裙ば，在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩(wěn)定的惠斯頓電橋。此電橋便是儀表、傳感器等測(cè)量器件中的基本環(huán)節(jié)。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)壓力作用于彈性不銹鋼膜片時(shí)，位于另一面的惠斯頓電橋則產(chǎn)生正比于壓力的電輸出信號(hào)。將此信號(hào)經(jīng)放大調(diào)節(jié)等處理。再配以適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，就成為應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域中的壓力傳感器和壓力變送器。
目前市場(chǎng)上常見的壓力傳感器有擴(kuò)散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應(yīng)變片粘貼式等多個(gè)品種。濺射薄膜式壓力傳感器是近幾年來剛剛邁入市場(chǎng)的*。它的一大突出特點(diǎn)是受溫度影響小。在溫度變化100℃時(shí)，零點(diǎn)漂移僅為0.5%。其溫度性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于擴(kuò)散硅式壓力傳感器。其次它的耐高溫性也非常的*，工作介質(zhì)溫度可以直接測(cè)量-20℃~420℃比市面上一般的壓力傳感器適用溫度范圍更寬。
由于濺射式以惠斯頓電橋與彈性不銹鋼膜片間有很好的匹配并成為一體，而不存在任何膠粘劑。所以比粘貼式應(yīng)變片傳感器顯示出高的*穩(wěn)定性與可靠性。
鈦合電子生產(chǎn)的濺射薄膜壓力傳感器采用的是離子束濺射薄膜技術(shù)，高靈敏的壓力芯體全焊接封裝在不銹鋼殼體內(nèi)，具有準(zhǔn)確度高、輸出信號(hào)大、工作壽命長(zhǎng)、適用溫度范圍寬、*穩(wěn)定性好，功耗低、無遲滯、重復(fù)性好等特點(diǎn)。耐受頻繁壓力沖擊、振動(dòng)，5倍以上壓力過載，主要應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)和軍事裝備！
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