【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2019年7月31日，上海市科委科學(xué)儀器方法研究科研項(xiàng)目《掃描電子顯微鏡及能譜儀無(wú)損檢測(cè)微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法與應(yīng)用研究》(項(xiàng)目編號(hào)16142202500)驗(yàn)收會(huì)議在上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院召開(kāi)。
與會(huì)專家聽(tīng)取了項(xiàng)目組的匯報(bào)，審閱了項(xiàng)目組提供的驗(yàn)收資料，經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家組認(rèn)為該項(xiàng)目組完成了項(xiàng)目任務(wù)書規(guī)定的研究?jī)?nèi)容，達(dá)到了考核指標(biāo)，一致同意項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。
該項(xiàng)目以微納米尺度金(Au)鍍層和銠(Rh)鍍層材料為對(duì)象，利用掃描電鏡及能譜儀和蒙特卡洛模擬，建立了能譜法測(cè)試結(jié)果與元素特征X射線深度分布曲線之間的關(guān)系。鍍層厚度能譜法檢測(cè)結(jié)果與掃描電鏡法測(cè)量結(jié)果的誤差不大于±10%，并提供了常見(jiàn)貴金屬鍍層厚度分析范圍。
本項(xiàng)目制定的掃描電子顯微鏡及能譜儀無(wú)損檢測(cè)微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法避免了傳統(tǒng)微納米金屬尺度鍍層厚度測(cè)試的弊端，可以快速、準(zhǔn)確、無(wú)損地進(jìn)行貴金屬鍍層厚度分析，為我國(guó)集成電路、貴金屬飾品等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供技術(shù)依據(jù)。
經(jīng)中國(guó)科學(xué)院上海科技查新咨詢中心檢索，該項(xiàng)目具有新穎性，綜合技術(shù)達(dá)到先進(jìn)水平。
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