在軸類工件測(cè)量方面，已開發(fā)出采用CCD陣列傳感器的非接觸測(cè)量技術(shù)，可在數(shù)10s時(shí)間內(nèi)，測(cè)量出旋轉(zhuǎn)軸的長(zhǎng)度、直徑、同軸度、圓度、重直度及跳動(dòng)等多種數(shù)據(jù)。如Tesa公司開發(fā)出一種CNC非接觸式軸類零件測(cè)量?jī)xTESASCAN，其測(cè)量精度為2+0.01Dμm（D為被測(cè)量件的直徑）。
微細(xì)、小型零件的測(cè)量不斷增多

在圓度、圓柱度測(cè)量?jī)x方面，對(duì)其測(cè)量精度的要求進(jìn)一步提高，尤其是隨著微小孔和微細(xì)零件測(cè)量需求的增多，各公司相繼開發(fā)出能夠滿足高精度測(cè)量指標(biāo)的產(chǎn)品。

Taylor Hobson公司開發(fā)出一種全自動(dòng)圓度測(cè)量?jī)xTalyrond295，其特點(diǎn)是：①依靠高速調(diào)同心和調(diào)水平機(jī)構(gòu)，工件能很容易的迅速調(diào)整安裝。由于工件和儀器發(fā)生干涉的可能性小，測(cè)量范圍廣；②采用新開發(fā)的可動(dòng)防振臺(tái)、防風(fēng)罩，測(cè)量精度穩(wěn)定；③在機(jī)器校正方面，已獲得英國(guó)UKAS（英國(guó)檢測(cè)協(xié)會(huì)）的檢測(cè)鑒定保證書規(guī)定的各種相關(guān)數(shù)據(jù)，便于用戶購置該機(jī)后，進(jìn)行對(duì)比檢測(cè)；④配有高速找正機(jī)構(gòu)及水平測(cè)量器，工件可快速定位進(jìn)行測(cè)量。該公司負(fù)責(zé)人指出：“目前，圓度測(cè)量?jī)x和表面粗糙度檢查儀雖已制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但只能在表面質(zhì)量和圓度精度測(cè)量方面滿足用戶的需要。隨著自動(dòng)化的迅速進(jìn)展，廣大用戶要求快速測(cè)量工件的整體形狀精度，這已成為該領(lǐng)域近期的發(fā)展趨勢(shì)。”“該領(lǐng)域目前正由接觸式測(cè)量向非接觸測(cè)量過渡，Taylor Hobson公司開發(fā)出一種綜合測(cè)量?jī)xCLI 2000，可在大范圍（□200mm）采用接觸式和非接觸式兩種方式進(jìn)行測(cè)量。公司還銷售一種與超精密鏡面加工機(jī)床NANOFORM850（納米級(jí)）配套的測(cè)量?jī)x，目前，公司正以超精密測(cè)量技術(shù)為戰(zhàn)略性開發(fā)方向。”

在表面粗糙度測(cè)量方面，各公司已開發(fā)出能一次將表面粗糙度和輪廓形狀檢測(cè)出來的表面形狀測(cè)量?jī)x。如三豐公司的CS-5000CNC，可自動(dòng)測(cè)量工件的表面形狀，而且可同時(shí)對(duì)多個(gè)同一類型或不同類型工件進(jìn)行測(cè)量。東京精密公司開發(fā)出一種牌號(hào)為SURFCOM 2000 DX的測(cè)量?jī)x，驅(qū)動(dòng)部分采用直線電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)低振動(dòng)高速驅(qū)動(dòng)，測(cè)量精度和測(cè)量效率均大幅度提高。

激光測(cè)量系統(tǒng)方面，雷尼肖公司開發(fā)的ML 10測(cè)量系統(tǒng)適用于機(jī)械加工現(xiàn)場(chǎng)，可保持很高的可靠性，定位精度為±0.7ppm（0～40℃條件下），分辨力為0.001μm，可用于超精密測(cè)量領(lǐng)域。東京貿(mào)易技術(shù)系統(tǒng)公司的Leica激光跟蹤儀，利用激光線性光傳感器進(jìn)行非接觸測(cè)量，測(cè)量范圍的半徑達(dá)40m，測(cè)量精度為25μm/2.5m。

在圖像測(cè)量系統(tǒng)方面，三豐公司開發(fā)出一種快速掃描系統(tǒng)Quick vision，它可以不停止地進(jìn)行高速圖像測(cè)量，測(cè)量效率比過去提高數(shù)倍。YKT公司開發(fā)出的顯微攝像系統(tǒng)，是在美國(guó)OGP公司生產(chǎn)的直接錄像顯微鏡（VDM）上使用配置光纖光源的EDF鏡片，能顯示出大深度小孔和看不見的被測(cè)物體，獲得彩色三維圖像。

接觸和非接觸測(cè)量的優(yōu)劣之爭(zhēng)

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是形狀測(cè)量的主導(dǎo)產(chǎn)品，目前，三坐標(biāo)測(cè)量正在開發(fā)能夠適應(yīng)測(cè)量環(huán)境變化的新機(jī)種，這種新型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在保持原有精密測(cè)量性能的前提下，可以離開恒溫恒濕的測(cè)量室，在機(jī)械加工現(xiàn)場(chǎng)或裝配到機(jī)床上使用。例如三豐公司開發(fā)的新產(chǎn)品MACH－V9106，便是一種可進(jìn)行在線測(cè)量的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，它具有很高的測(cè)量效率，zui大移動(dòng)速度866mm/s，zui大加速度0.86G，指示誤差E=2.5+3L/1000μm。該測(cè)量機(jī)的環(huán)境適應(yīng)性能十分優(yōu)異，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品帶有溫度補(bǔ)償功能，可在15～35℃環(huán)境條件下使用。

東京精密公司開發(fā)出一種能適應(yīng)環(huán)境變化的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)GageMax（與卡爾蔡司公司合作生產(chǎn)），它不需要檢測(cè)室即可進(jìn)行高精度測(cè)量。GageMax為懸臂式測(cè)量機(jī)，所需安置面積較小，可實(shí)時(shí)處理生產(chǎn)線上反饋的信息，為了補(bǔ)償工件溫度變化，測(cè)量機(jī)配有相應(yīng)的溫度傳感器，在15～40℃的環(huán)境條件，可保證獲得良好的測(cè)量精度。

DEA開發(fā)出了DCC GAGE 等CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，并已正式投放市場(chǎng)。這種測(cè)量機(jī)采用獨(dú)立的二段減速系統(tǒng)，可進(jìn)行高速測(cè)量，移動(dòng)速度305mm/s，加速度為290mm/s2。

目前，在幾何參數(shù)測(cè)量方面，由于精度要求和傳統(tǒng)操作習(xí)慣的緣故，測(cè)量時(shí)大都使用接觸傳感器。不過，隨著非接觸式傳感器品種的增多，非接觸式測(cè)量的范圍正在不斷擴(kuò)大。非接觸傳感器的測(cè)量效率非常高，如在自由曲面整體評(píng)價(jià)或厚度判斷、反求工程等領(lǐng)域的測(cè)量中，可快速連續(xù)獲得由數(shù)萬個(gè)點(diǎn)形成的點(diǎn)陣參數(shù)。工件形狀變得復(fù)雜時(shí)，非接觸傳感器的姿態(tài)也將隨之相應(yīng)改變。因此，采用按編程可自動(dòng)改變測(cè)量形式進(jìn)行精密測(cè)量的三坐標(biāo)測(cè)量方式，對(duì)提高測(cè)量效果將更為有利。

接觸式和非接觸式測(cè)量方法孰優(yōu)孰次，是測(cè)量技術(shù)行業(yè)長(zhǎng)期議論的話題。有關(guān)人士指出：“近來，非接觸式測(cè)量雖已逐漸成為主流，但要獲得高度的測(cè)量值，則仍需進(jìn)行接觸測(cè)量。非接觸式測(cè)量速度快，可減輕對(duì)工件的損傷，與接觸式測(cè)量相比較，優(yōu)點(diǎn)很多。但在測(cè)量精度和穩(wěn)定性方面，接觸式測(cè)量仍高出*。接觸式測(cè)量是測(cè)頭與工件表面的某一個(gè)點(diǎn)接觸進(jìn)行測(cè)量，沿著工件形狀進(jìn)行掃描，可在短時(shí)間內(nèi)高密度地獲得大量點(diǎn)數(shù)，測(cè)量點(diǎn)數(shù)越多，越能獲得更為正確的形狀參數(shù)。”

測(cè)量技術(shù)的展望

通過問卷調(diào)查，測(cè)量機(jī)用戶的需求動(dòng)向和測(cè)量技術(shù)的發(fā)展前景可歸納如下：

（1）“隨著防振要求的提高，測(cè)量機(jī)正向兩極分化的方向發(fā)展，面向汽車行業(yè)用戶的測(cè)量機(jī)，通常均為價(jià)格較便宜（不需要很高精度）的機(jī)種，另一類則是用于設(shè)備檢測(cè)、防災(zāi)、防震領(lǐng)域的高靈敏度機(jī)種。根據(jù)不同的用途，要求開發(fā)相應(yīng)的*測(cè)量技術(shù)。”（阿卡西公司）

（2）“刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x，目前正由投影儀類型向監(jiān)測(cè)器類型轉(zhuǎn)變。”（大阪工機(jī)公司）“儀表校正等精密工具的測(cè)量需求增多。”（柯靈斯公司）

（3）“特殊零件的測(cè)量增多，這些零件采用接觸式測(cè)量時(shí)，往往會(huì)因測(cè)量力而變形；采用非接觸式測(cè)量又易出現(xiàn)精度不穩(wěn)定，因此，需要開發(fā)新型測(cè)量技術(shù)。”（西鐵城鐘表公司）

（4）“市場(chǎng)需要易于操作的非接觸式測(cè)量技術(shù)。”（FARO日本公司）“測(cè)量技術(shù)應(yīng)便于操作，且具有多種功能。同時(shí)，應(yīng)配裝千分尺和個(gè)人計(jì)算機(jī)等裝置，提高測(cè)量機(jī)的附加值。”（大塞公司）

（5）“用戶希望開發(fā)出高精度、高速、低價(jià)格的齒輪測(cè)量機(jī)。”（大阪精密機(jī)械公司）

（6）“汽車行業(yè)存在著減少zui終集中測(cè)試的趨勢(shì)。主動(dòng)檢測(cè)和在線（序后）檢測(cè)等在加工中得到推廣應(yīng)用。其中，在保證質(zhì)量方面，許多用戶希望測(cè)量技術(shù)能實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的無線傳輸。”（日本電氣）

如上所述，測(cè)量技術(shù)的主攻方面仍然是進(jìn)一步提高測(cè)量精度；同時(shí)，人們對(duì)測(cè)量技術(shù)的重要性和存在價(jià)值的認(rèn)識(shí)應(yīng)大幅度提高，這是測(cè)量技術(shù)今后不斷發(fā)展的巨大推動(dòng)力。