高精度氣體流量計(jì)是采用了什么原理進(jìn)行作業(yè)的？

來(lái)源：威海誠(chéng)信達(dá)儀表有限公司 2019年05月14日 18:23

　　高精度氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過(guò)傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。

　　高精度氣體流量計(jì)主要應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制。

　　2、分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制。

　　3、各種形式的真空鍍膜設(shè)備。

　　4、環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備。

　　5、化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制。

　　6、特種材料表面處理裝置與燃燒控制。

　　7、混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等。

　　高精度氣體流量計(jì)特點(diǎn)：

　　1、采用主體不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。

　　2、適用于各種腐蝕性氣體。

　　3、氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)。

　　4、高精度；重復(fù)性好。

　　5、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠。

　　6、低壓降。

　　7、工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)。

　　8、操作使用方便，可任意位置安裝。

　　9、便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

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