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詳解磁控濺射技術(shù)2023/03/22
一、磁控濺射的工作原理：磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積（PVD）的方法，具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好，成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點(diǎn)。磁控濺射的工作原理是：在高真空的條件下充入適量的氬氣，在陰極（柱狀靶或平面靶）和陽極（鍍膜室壁）之間施加幾百K直流電壓，在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電，電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使氬氣發(fā)生電離（在高壓作用下Ar原子電離成為Ar+離子和電子），入射離子（Ar+）在電場的作用下轟擊靶材，使得靶材表面的中性原子或分子獲得
NRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)有什么優(yōu)勢2022/07/28
我們的優(yōu)勢｜NRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)NANO-MASTERNRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)，用于高速刻蝕硅、SiO2和Si3N4基片，通過配套HCP高密度中空陰極等離子源，系統(tǒng)可以支持RIE和RIE-HCP應(yīng)用，提供廣泛的應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢配置，使得NRE-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢：?超高的薄膜均勻性?良好的粘附力?超凈的沉積（高真空支持）?出色的工藝控制?高度的可重復(fù)性（計(jì)算機(jī)全自動工藝控制）?易使用（可直接調(diào)用編好的工藝程序）?運(yùn)行可靠（所有核心組件均帶有保護(hù)）?低維護(hù)（完整
我們的優(yōu)勢｜離子束刻蝕2022/07/25
我們的優(yōu)勢｜離子束刻蝕NANO-MASTER的離子束刻蝕系統(tǒng)有很強(qiáng)的適應(yīng)性，可以根據(jù)不同的應(yīng)用建立不同的結(jié)構(gòu)，不同的樣品臺和離子源配置可實(shí)現(xiàn)不同的應(yīng)用范圍。系統(tǒng)中的樣品臺可實(shí)現(xiàn)正負(fù)90°傾斜、旋轉(zhuǎn)、水冷和背氦冷卻。NM成熟的技術(shù)可控制基片溫度在50℃以內(nèi)。通過傾斜和旋轉(zhuǎn)，深溝可切成斜角，通過控制側(cè)壁輪廓和徑向可提高均勻性，不同的構(gòu)造不同的應(yīng)用可選擇不同的選配項(xiàng)，也可增加濺射實(shí)現(xiàn)刻蝕之后的涂覆保護(hù)。應(yīng)用十分廣泛。NANO-MASTER的離子束刻蝕在行業(yè)中非常有競爭力，它憑什么可以這樣脫穎而出呢？1
NLD4000型原子層沉積案例解析2022/07/25
NANO-MASTERNLD-4000型等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)可以提供高品質(zhì)的薄膜沉積，通過配套ICP離子源系統(tǒng)可以支持PEALD和T-ALD等廣泛應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢配置，使得NLD-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢：√超高的薄膜均勻性√良好的粘附力√超凈的沉積（高真空支持）√出色的工藝控制√高度的可重復(fù)性（計(jì)算機(jī)全自動工藝控制）√易使用（可直接調(diào)用編好的工藝程序）√運(yùn)行可靠（所有核心組件均帶有保護(hù)）√低維護(hù)（完整的安全互鎖）√高、低溫基片樣品臺√小的占地面積26”x44”√全自動工藝控制客戶案例參數(shù)
帶你一文領(lǐng)略磁控濺射2022/07/25
主要功能：主要用于半導(dǎo)體應(yīng)用，及各種需要進(jìn)行微納工藝濺射鍍膜的情形?？梢杂糜诮饘俨牧希ń?、銀、銅、鎳、鉻等）的直流濺射、直流共濺射，絕緣材料（如陶瓷等）的射頻濺射，以及反應(yīng)濺射能力?；芍С止杵?，氧化硅片，玻璃片，以及對溫度敏感的有機(jī)柔性基片等。工作原理：通過分子泵和機(jī)械泵組成的兩級真空泵對不銹鋼腔體抽真空，當(dāng)廣域真空計(jì)顯示的讀數(shù)達(dá)到10-6Torr量級或更高的真空時(shí)，主系統(tǒng)的控制軟件通過控制質(zhì)量流量計(jì)精確控制Ar氣體(如需要濺射氧化物薄膜，可增加O2)，此時(shí)可以設(shè)定工藝所要求的真空（一般在0
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