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氣體質(zhì)量流量控制器

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用于氣體流量控制的設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)與氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。介紹MFC為MassFlowController的縮寫,即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng),工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生詳情>>

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